PRC激光操作说明书

1.操作面板说明图4-12 PRC激光操作面板1紧急停止按钮2控制电压启用开关3计时器4激光功率输出显示5放电管电流显示6放电管选择按钮7腔体压力显示8气体消耗显示和设置按钮9手动加气按钮10工作状态显示11警报诊断错误显示12警报检查按钮重置按钮14按下重置按钮指示灯激光重启指示灯16功能键（F1：用于测试，F2：冷却水流量，F3：检查漏气比率，F4：用于维护，F5：快速启动）其他如表4-11所示。表4-11中英文DiagnosticPanelStatusIndicators的工作状态比较激光显示VacuumPumpOn真空泵启动CompressorOn压缩机启动HighVoltageOn高压启动故障报警诊断错误显示CO2供应低二氧化碳气压低VacuumPump超载真空泵过载OilTemp高油温太高N2SupplyLow氮气压力低系统压力系统高压外壳内部温度高HeSupplyLow氦气压力低ShutterFault百叶窗故障H2OTempHigh水温高High AirSupplyLow普通氮低ShutterH2OFlowLow百叶窗水低HVSupplyFault高电压电源故障压缩机过载涡轮过载H2OFlowLow水流过低涡轮温度过高InverterFault逆变器故障1选择1CompressorFault涡轮故障Interlock打开门开关以打开Option2选择22.PRC激光操作序列常规概述：激光起点1）红色指示灯亮2）真空泵启动，反泵电磁阀打开。 3）油泵启动，油箱中的可控硅灯丝点亮。 4）入口电磁阀打开。 5）快速排气阀打开，压力控制阀打开。 6）包装盒中的冷却风扇开始旋转。 7）第一组报警系统工作。 B：水轮机起点：8Toor（必须关闭光闸，并且不会出现以下警报：水流量低，水温高，水轮机温度高，光闸水流量大，高压停电）1）水轮机启动开始2）混合气进入油箱气体电磁阀打开以向系统提供气体消耗（CAL：400 l / h）3）快速进气阀关闭且压力控制阀关闭4）警告灯点亮5）高压定时器在70秒后开始工作6）第二组警报系统开始工作C：工作压力点1）系统工作压力达到100Toor，压力电磁阀开始周期性工作D：高压准备点（“ HOLD”在控制面板上显示）1）涡轮达到正常速度225HZ2）70秒达到3）第三组报警系统开始工作E：接通高压1）警告灯闪烁2）起动极限ci rcuit开始工作3）自动预热程序开始工作，ldquo，用COLD代替ldquo，HOLD在控制面板上，并在5分钟后预热程序完成后，就可以控制激光器的电流和功率了在“ CAL”期间，气体混合箱向激光器提供400升/小时的气体消耗量，持续20-30分钟。 F：激光气体消耗在EF点G：激光关闭（激光手动关闭或故障关闭）主动停机1）高压停机2）涡轮机开始减速3）三个进气电磁阀关闭4）警告灯熄灭5）进水电磁阀关闭6）机箱中的风扇停止旋转7）延迟7秒，压力控制阀关闭，真空泵停止旋转，反向泵电磁阀关闭，晶闸管灯丝熄灭，机油泵停止旋转b。紧急停机1）立即切断1V和24V线路2）系统立即进入保护状态3）变频器立即减速c。报警停机1）与主动停机相同2）逆变器制动器3）真空泵立即停止旋转H：激光再次启动1）与点I相同：快速启动（必须使腔室内的压力低于100Toor，百叶窗关闭，并且没有出现以下警报：水流量低，水温高，涡轮温度高温度，低百叶窗水流量，高压停电）1）与B点相同J：与G点相同：达到112 Torr时，将自动对充气体进行充液L：充至740 Torr压力后，充液停止