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激光电镀技术的优势
发表时间: 2020-08-30 0:03:08浏览: 54
[文本]激光电镀是一种新的高能束电镀技术,对微电子器件和大规模集成电路的生产和修复具有重要意义。目前,尽管仍在研究激光电镀,激光烧蚀,等离子激光沉积和激光喷射的原理,但是它们的技术已经在实际使用中。当连续激光或脉冲激光照射电镀液中的阴极表面时,不仅可以大大提高金属的沉积速度,而且可以使用计算机控制激光束的移动以获得预期的络合物。几何非屏蔽涂层。在1980年代,开发了一种新的激光喷射增强电镀技术。激光增强电镀技术与电镀液喷涂相结合,使激光和电镀液同时射向阴极表面,其传质速率比激光辐照产生的传质速率快得多。微观搅拌的传质速率可以达到很高的沉积速率。激光电镀是经典技术和现代技术的典型结合,是一种新兴的高能束电镀技术。激光技术的使用可使金属沉积速度和效率提高1000倍。当使用连续激光或脉冲激光照射电镀浴中的阴极表面时,不仅沉积速度提高,而且激光束的移动轨迹可以由计算机控制。获得具有复杂几何形状的预期非屏蔽涂层。与普通电镀相比,具有以下优点:(1)沉积速度快,如激光镀金可达1mu,m / s,激光镀铜可达10mu,m / s,激光喷镀金可达12mu,m / s。 s,激光喷射镀铜可以达到50mu,m / s。 (2)仅在激光照射区域发生金属沉积,无需遮挡措施即可获得局部沉积涂层,简化了生产工艺;(3)大大提高了涂层的结合力。 (4)易于实现自动控制,(5)节省贵金属,(6)节省设备投资和加工时间。
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