PRC激光常见故障及排除方法

警报内容故障分析和故障排除方法CO2SupplyLow，HeSupplyLow，N2SupplyLow，AirSupplyLow对应的低气压更换相应的气体Compressoroverload，CompressorTempHigh涡轮过载，涡轮温度高确定环境温度是否符合要求，断电后检查涡轮状况，停电后，CompressorFault涡轮故障通常会启动激光器。所有警报都会出现，并且高压警报会在操作完成后自动取消。真空泵过载真空泵油位，油质的过载检查系统压力系统电压检查外部电压稳定性ShutterFault，ShutterH2OFlow百叶窗故障警报，百叶窗水流警报检查激光机械百叶窗和冷却水状况H2OFlowLow警报检查冷水机出口压力，水箱水量逆变器故障逆变器故障触点PRCInterlock开门警报激光门未关闭，重新检查OilTempHigh，H2OTempHigh油温高水温高停机检查真空泵机油检查冷水机EnclosureTempHigh环境温度高打开空调并降低温度。 HVSupplyFault高压故障重新启动，请联系Han放电故障。联系韩溢