磁盘空间不足。 磁盘空间不足。 常见故障及PRC激光器的消除
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常见故障及PRC激光器的消除

发表时间: 2020-04-08 0:07:04浏览: 70
告警内容故障分析与排除方法CO2SupplyLow,HeSupplyLow,N2SupplyLow,AirSupplyLow对应的相关气体压力低,更换对应的气体Compressoroverload,CompressorTempHigh涡轮过载,涡轮温度高,确定环境温度是否符合要求,关闭电源并检查涡轮机状况CompressorFault涡轮机故障通常由激光器启动如果运行完成后高压警报准备就绪,则会出现警报,并自动取消VacuumpumpOverload。 VacuumpumpOverload真空泵过载检查真空泵油位,油质量系统压力系统电压检查外部电压稳定性ShutterFault,ShutterH2OFlow百叶窗故障警报,百叶窗水流警报检查激光机械百叶窗和冷却水状况H2OFlowLow水流量低警报检查冷水机出口压力,水箱水体积InverterFault转换器故障触点PRCInterlock开门警报激光门未关闭,重新检查OilTempHigh,H2OTempHigh油温高水温高停机检查真空泵机油检查冷却器EnclosureTempHigh环境温度高打开空调以降低温度HVSupplyFault高压故障重启,联系大家庭放电放电故障联系汉斯过电流超过设定流量联系汉斯
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