塑料真空镀膜设备促进了真空镀膜产品的广泛使用

* 来源 : * 作者 : * 发表时间 : 2020-10-28 0:06:11 * 浏览 : 65
[文本]塑料真空镀膜设备的发展相当快。随着生产率的提高,生产成本大大降低,这为真空镀膜产品的广泛使用铺平了道路。以卷对卷真空镀膜机为例。首次显影时,可电镀的薄膜基材的宽度为0mm,目前已达到2253mm。基材辊的辊直径为1000mm,卷绕速度为750m / min。自动上下料半连续缠绕真空镀膜机的涂膜时间占整个周期的75%,辅助操作时间仅占25%。 1977年,出售了一种效率更高的空气-大气辊对空气真空镀膜机。随着测量技术,控制技术的发展以及电子计算机的应用,卷绕式真空镀膜机正朝着高度自动化的方向发展。和高可靠性。卷对卷真空涂布机可以沉积的涂层厚度为0.01-0.2μm,可以在此范围内选择,一些也可以用多层涂层以满足各种需要。日本专利提出了一种用于沉积两种不同涂层材料的卷对卷蒸发装置。该设备的真空腔(6)分为上腔(7),左下腔(8)和右下腔(9)。在蒸发过程中,由两组蒸发源(19、23)蒸发的涂料(21、25)分别沉积在塑料膜(11)上。在塑料膜未蒸发的一侧,有辉光放电发生器(,16)。发生器产生的辉光放电气体可以防止塑料膜起皱。使用这套设备可以在非常薄的塑料薄膜上涂上无皱纹的多层薄膜,该薄膜用于制造磁带和薄膜太阳能电池。该装置的示意图如图1和图1所示。改进的卷对卷蒸发装置。近年来,高速低温溅射法得到了迅速发展,可以沉积并形成高熔点金属,例如铬,钛,钨,钼等。大型钟罩式溅射镀膜机直径为1400mm,高度为2200mm的大型串联溅射镀膜机的长度为mm,宽度为7.6mm。最近,一项日本专利提出了一种卷对卷溅射涂布机,该涂布机可以涂布两种无方向性的涂料,并在溅射区和第二溅射区之间安装温度控制装置,以增强基板的强度。该材料可确保当涂层较厚且沉积速度较快时,基材不会收缩和变形。该装置的示意图如图1所示。真空室(1)配有溅射靶(4a,4b)和阳极(14a,14b),两个靶分别与直流电源(5a)连接。 ,5b)溅射塑料薄膜(8)。辊(11a,11b,11c)具有自己的冷却温度。
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